产品概述

固晶机

本产品是一款搭载自动晶圆处理系统,可处理多种规格的晶圆,稳定、快捷、精度高,同时支持倒装、叠晶工艺的全自动芯片贴装设备。

产品详情


AIT Die Bond设备isRhea 2020配备快速可靠的线性马达及精密的运动贴合头,

提供稳定可靠的贴合压力,贴合性能良好。


应用领域/ Application Area

芯片键合



技术参数 \ Technical Parameter

高精度:XY位置度±10|imQ3。旋转精度±0.2°@3

高效率:UPHN2200

兼容性:可以处理直径为12寸晶圆,兼容8寸晶圆

全自动:从上料、点胶、晶圆查找、贴合导检测可实现全自动化运行支持Carrier Board、引线框架和Magazine to MagazineH种载板入料