产品概述

高精度白光干涉仪Nano120

本产品主要用于nm级精度3D微结构测量领域。设备基于白光干涉术原理,对干涉包络快速高精度解析虚拟探针与工件相交的精准位置,精准测量工件表面形貌。

产品详情


技术参数:

全自动测量系统

设备具无损非接触、定位精度高、适应工业快速测量

 


产品应用:

微纳材料、精密光学面型、半导体工业等产品测试工艺

适合研发、实验室验证等