产品详情

设备基于白光光学干涉术原理，在焦点处产生高对比度干涉条纹，形成虚拟探针，并通过创新的针对台阶、匀滑表面专利算法，对干涉包络快速高精度解析，从而确定虚拟探针与工件相交的精确位置，以精确测量工件表面形貌。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，高分辨率可以达到nm级

特性有点:

● 非接触测量：无损、非接触避免损伤样品

● 测量精度高：测量分辨率0.1nm，重复精度优于5nm

● 测量速度快：自动对焦和对位，秒级提取500万点云

● 环境稳定性高：隔振、温湿度抑漂、正压洁净数据重复性高

● 可定制化：作业流程、系统功能定制，满足不同应用场景

● 丰富的测量模式：全自动测量系统，适应工业快速测量，包括数据分析、数据拟合滤波填充、几何测量

技术参数：

产品应用：

半导体制造及封装工艺检测、光学元件、微纳材料、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业

包括航空航天、国防加工、半导体、消费电子等领域

适合研发、实验室验证等